(资料图)
1、 多线切割技术是硅加工行业、太阳能光伏行业内的标志性革新,它替代了原有的内圆切割设备,所切晶片与内圆切片工艺相比具有弯曲度(BOW)、翘曲度(WARP)小。
2、平行度(TAPER)好,总厚度公差(TTA)离散性小,刃口切割损耗小。
3、表面损伤层浅,晶片表面粗糙度小等等诸多优点。
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